中国仪器进XXXXX公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-30在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称:蒸发台设备数量:3台设备用途:通过真空泵组排气,在具有加热除气功能且密闭性良好的腔室中建立****真空环境。当腔室内部达到本底真空后,利用电子束蒸发Ti、Pt、Au、Cr、Ta等材料,使其均匀沉积在晶圆表面,以获取相应制备材料的金属薄膜。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX017招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台(重新招标))项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 蒸发台 3套 工艺腔室本底真空:优于3E-7Torr;真空抽速:室温下30分钟从大气抽到3E-6Torr或更优;真空室漏率:<7.5E-10TorrL/s;冷泵正常工作时,一级温度≤65K,二级温度≤12K;其他参数详见第八章3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:(1)投标人是响应招标、...
安华招标网 采购招标导航网
京ICP备09066321号
网站投诉电话:56281882 法律顾问:北京陆扬律师
关注公众号
及时获取更多信息