安徽招标网:8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿台、BOE湿台国际招标公告(1)-安华招标网

8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿台、BOE湿台国际招标公告(1)

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****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:品目1设备名称：氧化清洗湿台设备数量：1台设备用途：本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。品目2设备名称：标准清洗湿台设备数量：2台设备用途：本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。品目3设备名称：硫酸去胶湿台设备数量：1台设备用途：本设备适用于八寸晶圆光刻胶去除清洗工艺，采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通过化学反应达到光刻胶去除、清洗的作用。品目4设备名称：有机去胶湿台设备数量：1台设备用途：本设备适用于八寸晶圆聚合物去除工艺，采用EKC溶液和NMP溶液通过化学反应达到去除聚合物和光刻胶的目的。品目5设备名称：BOE湿台设备数量：1台设备用途：本设备适用于八寸晶圆二氧化硅腐蚀、氮化硅腐蚀工艺，采用HF、NH4F、H...

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