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哈尔滨工业大学（深圳）ALD原子层沉积系统意向公开

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哈尔滨工业大学（深圳）ALD原子层沉积系统意向公开采购单位:哈尔滨工业大学（深圳）项目名称:ALD原子层沉积系统预算金额（元）:1,000,000.000采购品目:真空应用设备采购需求概况:1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；2. 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；3.设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s；4.多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式。5.常温源1路，加热源3路；每路源配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms)；6. 臭氧发生器产量不低于20 g/h，浓度不低于100 g/m3；7. 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510*510*210 mm；8.配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4~1000 mbar；9. 真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300 ℃，控制精度±1℃；10. 力学载台压力不低于10KN，加热最****温度400℃联系人：XXXXX>秦敬凯联系电话:XXXXX预计采购时间:2024-05备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目...

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