深圳国际量子研究院超****真空电子束蒸发镀膜仪等一批设备采购项目意向公开 采购单位: 深圳国际量子研究院 项目名称: 超****真空电子束蒸发镀膜仪等一批设备采购项目 预算金额(元): 10,550,000.000 采购品目: 其他机械设备 采购需求概况: 本次拟采购的超****真空电子束蒸发镀膜仪是先进薄膜沉积设备,专用于制备金属、非金属薄膜材料,尤其是具有特殊功能的材料。 拟采购的****真空磁控溅射镀膜仪是专用于制备金属、非金属薄膜材料的镀膜设备。该设备应提供大尺寸(8寸)、****稳定性、****质量的复杂薄膜的生长。 拟采购的等离子去胶机应可对工艺参数进行精确控制。工艺监测和数据采集软件可实现最严格的去胶质量及过程控制。 预计采购时间: 2023-3 联系人:XXXXX 谢老师...
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