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西安电子科技大学2023年08月政府采购意向公开

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将西安电子科技大学2023年08月政府采购意向公开如下：序号采购项目名称意向编号采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期备注1等离子体化学气相沉积机PECVD202306041A02330300 电子工业生产设备一台。一个cassette可以放置不少于5个4/6inch基板托盘；加热温度均匀性300±5℃；配置气体100%SiH4, NH3, N2O, N2, O2, CF4；射频电源功率不低于600W；成膜厚度不均匀性与再现性≤4%。3502023年08月2等离子刻蚀设备ICP202306042A02330300 电子工业生产设备一台。上电极功率3000W；6"wafer。6002023年08月本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。西安电子科技大学采购与招标管理办公室2023年06月26日

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